Этапы развития

Основанием для создания фирмы послужил уникальный опыт разработок и использования приборов и методов анализа поверхности, накопленный в лаборатории поверхностных явлений Института общей физики им. А.М. Прохорова РАН (ИОФРАН). В частности, разработка сверхвысоковакуумного СТМ была стимулирована таким явлением как гигантское комбинационное рассеяние света, обнаруженным сотрудниками лаборатории при сверхвысоковакуумном хлорировании меди и серебра (Chem. Phys. Lett. 158 (1989) 271-273), и уже первое в России исследование поверхности на атомном уровне было проведено ими в 1995 г (JETP Lett. 62 (1995) 444). Именно здесь в 1998 году был создан промышленный образец сверхвысоковакуумного сканирующего туннельного микроскопа GPI 300 и налажено его производство. Первый прибор GPI 300 был поставлен в Италию в Университет г. Флоренции и до сих пор используется в исследованиях. 

НПФ «Сигма Скан» создана в феврале 2002 г. для промышленной реализации разработанных приборов и методов анализа поверхности и в настоящее время позиционируется как фирма, производящая сверхвысоковакуумные компоненты, аналитическое оборудование и новейшие методики работы с поверхностью в условиях сверхвысокого вакуума.

В 2008 г. в ИОФРАН был создан прототип сверхвысоковакуумного низкотемпературного СТМ, работающего при гелиевых температурах. Промышленный вариант прибора производится в НПФ «Сигма Скан» под маркой GPI CRYO.

В 2009 г. НПФ «Сигма Скан» разработала комбинированный прибор СТМ/АСМ (акт. ссылка) для встраивания в растровый электронный микроскоп с целью получения топографии выделенных объектов с атомным пространственным разрешением. Первая реализация разработки была осуществлена для электронного микроскопа «Supra 40» фирмы Zeiss.

Наиболее значимым актуальным проектом компании является разработка технологической установки лабораторного уровня, предназначенной для конструирования поверхностных наноструктур с заданными свойствами, включая функциональные элементы электроники. Концепция данной установки базируется на сверхвысоком (или экстремально высоком) вакууме, контроле топологии и размеров элементов посредством совмещения сканирующего зондового (СЗМ) и растрового электронного микроскопов, прецизионных технологических операциях (вплоть до атомной точности) с использованием локальных химических реакций (в зоне СЗМ-зонда).

В настоящее время совместно с ИОФРАН разрабатываются операции нанолитографии кремния на основе электронно-стимулированной реакции в слое физсорбированного хлора, селективного травления полупроводников AIIIBV молекулярными галогенами и локальной металлизации зондом СЗМ.

Научное сотрудничество

Компания активно сотрудничает с институтами Российской Академии (ИОФРАН, ИРЭ РАН, ИФТТ РАН), а также с Объединенным институтом ядерных исследований (ОИЯИ) в Дубне и Московским институтом электронной техники (МИЭТ) в Зеленограде. Гелиевый криостат для GPI CRYO был разработан совместно с ИРЭ РАН и ОИЯИ, а сканеры для GPI CRYO и SPM-in-SEM — вместе с МИЭТ. Прототипы GPI 300 и GPI CRYO были разработаны совместно с ИОФРАН.

Наши заказчики

1. Химический факультет Университета г. Флоренции (Италия).

2. Институт автоматики и проблем управления ДВО РАН (Владивосток).

3. Институт катализа СО РАН им. Г.К. Борескова (Новосибирск).

4. Институт физики твердого тела (Черноголовка Московская обл.).

5. Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН (Москва).

6. Физико-технический институт им.А.Ф. Иоффе РАН (С.Петербург).

7. Институт общей физики им.А.М. Прохорова РАН (Москва).

8. Институт металлургии УрО РАН (Екатеринбург).

9. Башкирский государственный университет (Уфа).

10. Физико-технический институт УрО РАН (Ижевск).

11. Синхротронный источник Курчатовского Института (Москва).

Конференции и выставки

Конференции

ЗАО «НПФ «Сигма Скан» является спонсором 1-ой Международной молодежной школы по физике поверхности «Технологии и измерения атомного масштаба» (28 сентября – 2 октября 2011 года, Великий Новгород) http://sss-tmas.issp.ras.ru

Выставки

Наши контакты

Закрытое акционерное общество “Научно-производственная фирма “Сигма Скан”

119991 Москва, ул. Вавилова 38

Тел./факс +7 (499) 503 8769

Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.

http://www.sigmascan.ru

Посмотреть схему проезда ЗАО «НПФ «Сигма Скан» на Яндекс.Картах.