Сверхвысоковакуумная лабораторная технологическая установка для создания наноструктур с латеральными размерами 1-10 нм на поверхности металлов и полупроводников
Данный проект направлен на развитие нового класса инструментов для нанотехнологии. Предлагается разработать и изготовить макет технологической установки лабораторного уровня, предназначенной для конструирования поверхностных наноструктур с заданными свойствами, включая функциональные элементы электроники, и разработать базовые технологические процессы. Установка будет укомплектована сканирующим зондовым и растровым электронным микроскопами, набором газовых и твердотельных источников материала с прецизионными системами управления, системой охлаждения и нагрева образцов, ионными источниками, масс-спектрометром, цифровыми системами управления процессами и измерениями, лабораторными технологическими картами. Основными технологическими операциями являются локальное травление, легирование и/или осаждение материала в зоне воздействия сканирующего зондового микроскопа на молекулы активных газов (молекулярные галогены, металлорганические и металлгидридные соединения), адсорбированные на поверхности таких материалов как Si, GaAs, Cu, Ag, Au, Fe, Ni.
При надлежащем развитии нанотехнологий в стране и в мире, когда речь пойдет об управлении или создании контролируемым образом отдельных функциональных наноэлементов, данный класс оборудования обязательно будет востребован на начальном этапе любой разработки наносистем, поскольку макетирование (включая само исследование) должно проводиться в реальном эксперименте.
Скачать общее описание проекта:
GPI SPM/technology (